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半導體酸氣SDG吸附劑工藝特點

作者:一恒環保来源:一恒環保日期:2019-04-25

半導體酸氣SDG吸附劑工藝特點
半導體制作可能排放的特殊毒性氣體種類衆多,如所排放的AsH3、PH3、SiH4、B2H6、SiH2Cl2,CL2,HF,PH3,NH3,HBr,F2,HCL,COS等等,都是含有特殊毒性的危險氣體。針對此類的廢氣處理需把握各單元所排放的廢氣特性,串聯多種不同型式的廢氣處理設備和吸附劑。目前常應用于處理半導體制程中特殊毒性氣體處理的處理技術,一般可以分為四種,幹式吸收或吸附法、濕式洗滌法等。其中各種吸附劑的配合使用为目前半導體行业的主流處理技術。
 SDG酸氣吸附劑是北京工业大学佘名漢教授主持研制的一種新型酸性廢氣吸附材料, 共分为SDG-1型和SDG-2型,分别針對處理不同含酸氣體,具體見下吸附劑性能表。該SDG吸附劑兩次被原國家環保總局評为最佳實用推廣技術。我公司在佘教授主持下不斷改進吸附劑的生産工藝,并建立和完善了吸附劑的質量标準。目前我公司生産和銷售的SDG吸附劑在國内獲得了大量應用,用戶反應良好。
  SDG-2型吸附劑外觀为灰白色,柱狀,是一種多種成分複合的化学吸附劑。主要用于處理 鹽酸、硫酸、氫氟酸、磷酸等強酸揮發的廢氣,具體參數可以查詢文字說明下面的表格。
SDG吸附劑淨化酸氣機理
 SDG吸附劑是一種比表面積較大的固體顆粒狀無機物,當被淨化氣體中的酸氣擴散運动到达SDG吸附劑表面吸附力場時,便被固定在其表面上,然後與其中活性成分發生化学反應,生成一種新的中性鹽物質而存儲于SDG吸附劑結構中。SDG吸附劑對酸氣的淨化是一個多功能的綜合作用,除了一般的物理吸附外,還有化学吸附,粒子吸附,催化作用,化学反應等。
SDG吸附劑工藝特點
1、它可以對多種酸氣同時存在時一次淨化。
2、可以达到極高的淨化效率,并可根據用戶的需求設計。
3、使用維護極为簡單方便。
4、對環境條件無特殊要求,冬季不需做防凍處理
5、使用安全。
6、無二次污染。